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[1]严利平,刘朋朋,谢建东,等.基于单频正交线偏振光的激光波长直接测量方法[J].浙江理工大学学报,2017,37-38(自科5):699-704.
　YAN Liping,LIU Pengpeng,XIE Jiandong,et al.Laser Wavelength Direct Measurement Method Based onthe Single Frequency Orthogonal Polarized Lights[J].Journal of Zhejiang Sci-Tech University,2017,37-38(自科5):699-704.
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基于单频正交线偏振光的激光波长直接测量方法()
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浙江理工大学学报[ISSN:1673-3851/CN:33-1338/TS]

卷:
第37-38卷
期数:
2017年自科5期
页码:
699-704
栏目:
出版日期:
2017-08-30

文章信息/Info

Title:
Laser Wavelength Direct Measurement Method Based onthe Single Frequency Orthogonal Polarized Lights
文章编号:
1673-3851 (2017) 05-0699-06
作者:
严利平; 刘朋朋; 谢建东; 陈本永
浙江理工大学纳米测量技术实验室，杭州 310018
Author(s):
YAN Liping; LIU Pengpeng; XIE Jiandong; CHEN Benyong
Nanometer Measurement Laboratory, Zhejiang Sci-Tech University, Hangzhou31001, China
关键词:
光波长测量; 干涉仪; 相位差测量; FPGA
分类号:
TH741
文献标志码:
A
摘要:
提出了一种激光波长的直接测量方法，将对未知波长的测量转化为干涉条纹信号整周期计数和两路干涉信号相位差的测量，不需要参考光源，能实现激光波长的大范围高精度连续直接测量。介绍了系统的光路结构和激光波长直接测量原理，设计了基于FPGA的整数干涉条纹计数和小数干涉条纹相位差测量的干涉信号处理方法。对HeNe激光器测量实验结果表明：激光波长测量误差小于0.27 pm，测量不确定度为4.5×10 -7，由此验证了该方法的可行性以及干涉信号处理方法的有效性。

参考文献/References:

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备注/Memo

备注/Memo:
收稿日期： 2016-11-06
网络出版日期： 2017-01-19
基金项目： 国家自然科学基金项目(51205365，51475435)；浙江理工大学521人才培养计划
作者简介： 严利平(1977-)，女，四川内江人，副教授，博士，主要从事精密测量技术方面的研究
通信作者： 陈本永，E-mail：chenby@zstu.edu.cn
更新日期/Last Update: 2017-09-26