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[1]屈杰,陈本永,严利平,等.基于激光干涉法的大型工件内径测量系统设计[J].浙江理工大学学报,2022,47-48(自科五):774-782.
　QU Jie,CHEN Benyong,YAN Liping,et al.Design of inner diameter measurement system for large  workpieces based on laser interferometry[J].Journal of Zhejiang Sci-Tech University,2022,47-48(自科五):774-782.
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基于激光干涉法的大型工件内径测量系统设计()
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浙江理工大学学报[ISSN:1673-3851/CN:33-1338/TS]

卷:
第47-48卷
期数:
2022年自科第五期
页码:
774-782
栏目:
出版日期:
2022-09-10

文章信息/Info

Title:
Design of inner diameter measurement system for large  workpieces based on laser interferometry
文章编号:
1673-3851 (2022) 09-0774-09
作者:
屈杰; 陈本永; 严利平; 楼盈天
浙江理工大学精密测量技术实验室，杭州 310018
Author(s):
QU Jie; CHEN Benyong; YAN Liping; LOU Yingtian
Precision Measurement Laboratory, Zhejiang Sci-Tech University, Hangzhou 310018, China
关键词:
激光干涉仪; 大型工件; 内径测量; 最小二乘法; 有限元分析
分类号:
TS195-644
文献标志码:
A
摘要:
当利用激光干涉法对大型工件进行现场测量时，需铺设长行程直线导轨，导致测量系统结构复杂；为解决该问题，采用模块化接杆式结构的可伸缩测量臂，设计了一套基于激光干涉位移测量的大型工件内径测量系统。该系统由位移测量模块、旋转驱动模块和数据获取与处理模块三部分组成；位移测量模块的测量臂采用双支撑外径递减式结构，有效减少了大尺寸测量时的弯曲变形；采用Pratt法与LM法相结合的融合法进行最小二乘法圆拟合，精确得到被测工件半径和圆度等参数。对研制系统装置进行了定心实验、系统静态稳定性实验、实际工件内径测量及重复性实验等，重复性测量实验测得同一圆周的半径和圆度标准偏差分别为17.60、25.48 μm，不同圆周的半径和圆度标准偏差在几十微米内波动，符合测量工件的加工精度。结果表明该系统可应用于大型工件的现场测量，可有效检测和评估工件内径和圆度等参数。

参考文献/References:

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相似文献/References:

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　WEI Ruo Fei,YAN Li ping,YAO Xi Guo,et al. Study on Alignment Method of a Laser Synthetic Wavelength Interferometer[J].Journal of Zhejiang Sci-Tech University,2011,28(自科五):525.

备注/Memo

备注/Memo:
收稿日期： 2022-03-29
网络出版日期：2022-06-07
基金项目： 国家自然科学基金项目(51875530)
作者简介： 屈杰(1996-)，男，湖南永州人，硕士研究生，主要从事智能检测与控制方面的研究
通信作者： 陈本永，E-mail：chenby@zstu.edu.cn
更新日期/Last Update: 2022-09-07