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[1]杨亮亮,胡斌,李剑敏.双轴电热机械MEMS微镜的驱动臂交叉耦合模型[J].浙江理工大学学报,2020,43-44(自科三):349-355.
　YANG Liangliang,HU Bin,LI Jianmin.Actuator crossaxis coupling model of two  axis  electrothermalmechanical MEMS mirror[J].Journal of Zhejiang Sci-Tech University,2020,43-44(自科三):349-355.
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双轴电热机械MEMS微镜的驱动臂交叉耦合模型()
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浙江理工大学学报[ISSN:1673-3851/CN:33-1338/TS]

卷:
第43-44卷
期数:
2020年自科三期
页码:
349-355
栏目:
出版日期:
2020-06-09

文章信息/Info

Title:
Actuator crossaxis coupling model of two  axis  electrothermalmechanical MEMS mirror
文章编号:
1673-3851 (2020) 05-0349-07
作者:
杨亮亮; 胡斌; 李剑敏
1.浙江理工大学，a.浙江省现代纺织装备技术重点实验室;b. 机械与自动控制学院，杭州 310018；2.无锡微奥科技有限公司，江苏无锡 214000
Author(s):
YANG Liangliang;  HU Bin;  LI Jianmin
1a. Zhejiang Provincial Key Lab of Modern Textile Machinery & Technology; 1b. Faculty of Mechanical  Engineering & Automation, Zhejiang Sci-Tech University, Hangzhou 310018, China; 2.WiO Technology Co., Ltd., Wuxi 214000, China
关键词:
MEMS微镜; 电热驱动; 交叉耦合; 电热机械建模
分类号:
TP215
文献标志码:
A
摘要:
根据双轴电热机械MEMS微镜的热力学、机械振动、频率响应和光学动态扫描图形分析，考虑驱动臂轴间交叉耦合情况，建立了双轴电热机械MEMS微镜的驱动臂交叉耦合模型。通过Matlab/Simulink对微镜系统模型进行仿真，并模拟了双轴电热机械MEMS微镜单个驱动臂和两个驱动臂的光学动态扫描模式。将仿真图形与双轴电热机械MEMS微镜动态扫描的实际情况进行对比，结果表明该模型有效仿真出双轴电热机械MEMS微镜的光学动态扫描模式，达到预测该微镜光学动态扫描图形的目的。

参考文献/References:

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备注/Memo

备注/Memo:
收稿日期：2019-09-05
网络出版日期： 2019-12-04
基金项目：国家重点研发计划(2017YFB1304000)；浙江省自然科学基金项目(LY18E050016)
作者简介：杨亮亮(1978-），男，湖北荆门人，副教授，博士，主要从事高速高精运动控制技术方面的研究
通信作者：李剑敏，E-mail: ljmzrz@163.com
更新日期/Last Update: 2020-06-10