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[1]章淼凌,严利平,楼盈天,等.激光圆偏振干涉纳米位移测量信号处理方法[J].浙江理工大学学报,2013,30(05):689-692.
　ZHANG Miaoling,YAN Liping,LOU Yingtian,et al.Signal Processing Method of Laser Circular Polarization Interference Nanometer Displacement Measurement[J].Journal of Zhejiang Sci-Tech University,2013,30(05):689-692.
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激光圆偏振干涉纳米位移测量信号处理方法()
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浙江理工大学学报[ISSN:1673-3851/CN:33-1338/TS]

卷:
第30卷
期数:
2013年05期
页码:
689-692
栏目:
出版日期:
2013-09-10

文章信息/Info

Title:
Signal Processing Method of Laser Circular Polarization Interference Nanometer Displacement Measurement
文章编号:
1673-3851 (2013) 05-0689-04
作者:
章淼凌;  严利平;  楼盈天;  刘燕娜;  陈本永
浙江理工大学纳米测量技术实验室, 杭州 310018
Author(s):
ZHANG Miaoling;  YAN Liping;  LOU Yingtian;  LIU Yanna;  CHEN Benyong
Nanometer Measurement Laboratory, Zhejiang Sci-Tech University, Hangzhou 310018, China
关键词:
激光圆偏振干涉;  纳米位移测量;  信号处理;  FPGA和DSP
分类号:
TH741
文献标志码:
A
摘要:
介绍激光圆偏振干涉纳米位移测量系统的光路结构,针对A/D误差和直流噪声引入的位移误差,提出了基于正余弦信号切换的干涉条纹处理方法,以提高测量精度。设计基于FPGA和DSP架构的激光圆偏振干涉纳米位移测量系统,其中FPGA主要用于信号的采集、大数计数及与上位机通讯,DSP主要用于小数计算。位移实验结果表明:在0~7 μm范围内,步长为100 nm的测量结果其线性拟合相关系数为0.983 6,标准差为1.88 nm;在 0~ 15 μm范围内步长为1 μm的测量结果其线性拟相关系数为0.999 2,标准差为2.96 nm。验证了所提出的干涉条纹处理方法和信号处理系统能够实现纳米级位移测量精度的要求。

参考文献/References:

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备注/Memo

备注/Memo:
收稿日期： 2013-03-21
基金项目： 国家自然科学基金项目(51205365);浙江省自然科学基金项目(Y1110495);浙江省教育厅科研项目(Y201019094和ZD2007004)
作者简介： 章淼凌(1986-),男,浙江杭州人,硕士研究生,主要从事激光干涉测量技术的研究。
通信作者： 严利平,电子邮箱:yanliping@zstu.edu.cn
更新日期/Last Update: 2013-10-22