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[1]张雪峰,严利平,刘燕娜,等.激光合成波长干涉仪零相位检测实验研究[J].浙江理工大学学报,2013,30(05):685-688.
　ZHANG Xuefeng,YAN Liping,LIU Yanna,et al.Experimental Study on Zero Phase Detection of Laser Synthetic Wavelength Interferometer[J].Journal of Zhejiang Sci-Tech University,2013,30(05):685-688.
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激光合成波长干涉仪零相位检测实验研究()
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浙江理工大学学报[ISSN:1673-3851/CN:33-1338/TS]

卷:
第30卷
期数:
2013年05期
页码:
685-688
栏目:
出版日期:
2013-09-10

文章信息/Info

Title:
Experimental Study on Zero Phase Detection of Laser Synthetic Wavelength Interferometer
文章编号:
1673-3851 (2013) 05-0685-04
作者:
张雪峰;  严利平;  刘燕娜;  陈本永
浙江理工大学纳米测量技术实验室, 杭州 310018
Author(s):
ZHANG Xuefeng;  YAN Liping;  LIU Yanna;  CHEN Benyong
Nanometer Measurement Laboratory, Zhejiang Sci-Tech University, Hangzhou 310018, China
关键词:
合成波长;  DSP;  零相位检测;  线性拟合;  标准偏差
分类号:
TH741;TP274.2
文献标志码:
A
摘要:
探讨激光合成波长干涉仪零相位检测方法,构建基于DSP芯片TMS320F28335的零相位检测实验装置,选用两个捕捉单元获取两单波长干涉信号的上升沿时刻差,用线性回归拟合方法算出零相位点位置。在恒温恒湿实验室中,分别以7 000、10 000和13 000个拟合点数进行实验,实验结果显示,参考镜过零点位置平均值分别为283 388.8、285 830.9、286 533.2 μm,标准偏差分别为0.25、0.43、0.36 μm。结果表明:选取7 000个拟合点数进行计算时,标准偏差最小,计算得到的过零点位置最准确。

参考文献/References:

［1］ 韦丰. 激光合成波长干涉纳米测量系统及其信号处理方法研究［D］. 杭州: 浙江大学, 2005: 5-7.
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［3］ 陈本永, 穆瑞珍, 周砚江, 等. 激光合成波长纳米测量干涉仪的非线性误差分析［J］. 中国激光, 2008, 35(2): 241-244.
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［7］ 张华叶, 张恩政, 严利平, 等. 渥拉斯顿棱镜偏摆对激光外差干涉直线度测量的影响分析［J］. 浙江理工大学学报, 2012, 29(5): 672-676.
［8］ 张萍, 严利平, 杨涛, 等. 基于CPLD的激光合成波长干涉信号处理方法［J］. 浙江理工大学学报, 2010, 27(2): 239-243.

备注/Memo

备注/Memo:
收稿日期： 2013-02-27
基金项目： 国家自然科学基金项目(51205365);浙江省自然科学基金项目(Y1110495);浙江省教育厅科研项目(Y201019094和ZD2007004)
作者简介： 张雪峰(1988-),女,浙江宁波人,硕士研究生,主要从事激光干涉测量技术的研究。
通信作者： 严利平,电子邮箱:yanliping@zstu.edu.cn
更新日期/Last Update: 2013-10-22