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[1]金达莱,王耐艳,王龙成,等. “微电子材料加工原理与技术”课程教学方法初探[J].浙江理工大学学报,2012,29(06):912-914.
　JIN Da lai,WANG Nai yan,WANG Long cheng,et al. Teaching Method for Lithography Technology in MicroelectronicsManufacturing in the Classroom[J].Journal of Zhejiang Sci-Tech University,2012,29(06):912-914.
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 “微电子材料加工原理与技术”课程教学方法初探()
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浙江理工大学学报[ISSN:1673-3851/CN:33-1338/TS]

卷:
第29卷
期数:
2012年06期
页码:
912-914
栏目:
出版日期:
2012-12-28

文章信息/Info

Title:
 Teaching Method for Lithography Technology in MicroelectronicsManufacturing in the Classroom
文章编号:
16733851 (2012) 06091203
作者:
 金达莱;  王耐艳;  王龙成;  郭绍义
 浙江理工大学机械与自动控制学院， 杭州 310018
Author(s):
 JIN Dalai;  WANG Naiyan;  WANG Longcheng;  GUO Shaoyi
 School of Machinery and Automation, Zhejiang SciTech University, Hangzhou 310018, China
关键词:
 ; 微电子;  光刻技术;  教学方法
分类号:
G642.4
文献标志码:
A
摘要:
    针对“微电子材料加工原理与技术”课程多学科交融、知识更新快的特点，选取其中教学重点和难点之一的光刻技术进行教学探讨。结合课程教学的学科基础，采用系统讲授法和范例教学法相结合，以及用多媒体动画、生产实录视频演示等方法弥补课堂讲授之不足，可提高课堂教学效果和学生的学习兴趣，加深学生对多学科知识的综合理解。

参考文献/References:

 ［1］ 赵保经. 微电子学和微电子技术浅说［M］. 北京: 国防工业出版社, 1985： 1723.
［2］ 李兴, 刘盾, 张建民. 现代微电子技术及其发展综述［J］. 天津职业技术师范学院学报, 2003, 13(4), 35\|37.
［3］ 刘玉岭, 檀柏梅, 张楷亮. 微电子工程: 材料, 工艺与测试［M］. 北京: 电子工业出版社, 2004： 310.
［4］ 陈立俊. 微电子材料与制程［M］. 上海: 复旦大学出版社, 2005： 15.
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备注/Memo

备注/Memo:
 收稿日期： 2011-11-14
基金项目： 浙江理工大学教改基金（e11133）
作者简介： 金达莱（1977-），女，浙江杭州人，副研究员，博士，主要从事材料科学的研究。
更新日期/Last Update: