|本期目录/Table of Contents|

[1]魏若飞,严利平,姚喜国,等. 激光合成波长干涉仪的准直方法研究[J].浙江理工大学学报,2011,28(04):525-528.
 WEI Ruo Fei,YAN Li ping,YAO Xi Guo,et al. Study on Alignment Method of a Laser Synthetic Wavelength Interferometer[J].Journal of Zhejiang Sci-Tech University,2011,28(04):525-528.
点击复制

 激光合成波长干涉仪的准直方法研究()
分享到:

浙江理工大学学报[ISSN:1673-3851/CN:33-1338/TS]

卷:
第28卷
期数:
2011年04期
页码:
525-528
栏目:
(自科)纺织与服装工程
出版日期:
2011-08-31

文章信息/Info

Title:
 Study on Alignment Method of a Laser Synthetic Wavelength Interferometer
文章编号:
16733851 (2011) 04052504
作者:
 魏若飞 严利平 姚喜国 杨涛 陈本永
 浙江理工大学纳米测量技术实验室, 杭州 310018
Author(s):
 WEI RuoFei YAN Liping YAO XiGuo YANG Tao CHEN Benyong
 Nanometer Measurement Laboratory, Zhejiang SciTech University, Hangzhou 310018, China
关键词:
激光干涉仪 准直 四象限探测器
分类号:
TH741
文献标志码:
A
摘要:
    对激光合成波长干涉仪的准直方法进行研究。提出采用四象限探测器实现激光合成波长干涉仪的准直方法,描述激光合成波长干涉仪的准直原理与信号处理方法;对参考角锥棱镜进行准直测量实验,实验结果表明:在x方向所测数据的标准偏差从7.038 mV减小到1.6 mV,在z方向所测数据的标准偏差从30.118 mV〖JP2〗减小到1.119 mV;对测量角锥棱镜进行准直测量实验,实验结果表明:在x方向所测数据的标准偏差从3.2049 mV〖JP〗减小到1.202 mV,在y方向所测数据的标准偏差从2.831231 mV减小到0.673 mV。验证了所用准直方法的可行性和实用性。

参考文献/References:

 [1] Chen B Y, Yan L P, Yao X G, et al. Development of a laser synthetic wavelength interferometer for large displacement measurement with nanometer accuracy[J]. Opt Express, 2010, 18(3): 30003010.
[2] Kim J W, Kang C S, Kim J A, et al. A compact system for simultaneous measurement of linear and angular displacements of nanostages[J]. Opt Express, 2007, 15(24): 1575915766.
[3] 谭千里. 四象限探测器组件在激光制导技术中的应用[J]. 半导体光电, 2005, 26(2): 155157.
[4] Li S G, Tong Z C. Effect of angular tracking error of quadrant detector on laser guidance[J]. Applied Laser, 2010, 30(2): 142144.
[5] Fan K C, Zhao Y. A laser straightness measurement system using optical fiber and modulation techniques[J]. International Journal of Machine Tools and Manufacture, 2000, 40(14): 20732081.
[6] 周建民, 白素平. 激光基准在机床工作台误差自动校正中的应用[J]. 长春光学精密机械学院学报, 2001, 24(1): 2830.
[7] 张洪建, 方斌, 李伟仁. 机载武器四象限测角制导新算法[J]. 激光与红外, 2002, 32(6): 425427.
[8] 安凯, 汪红慢, 任戈, 等. 四象限探测仪测角新算法[J]. 激光与红外, 2001, 31(6): 328329.
[9] 匡萃方, 冯其波, 陈士谦, 等. 基于激光准直直线度测量方法的研究[J]. 光学技术, 2003, 29(6): 699701.
[10]孙长库, 何明霞, 王鹏. 激光测量技术[M]. 天津: 天津大学出版社, 2001.

相似文献/References:

[1]屈杰,陈本永,严利平,等.基于激光干涉法的大型工件内径测量系统设计[J].浙江理工大学学报,2022,47-48(自科五):774.
 QU Jie,CHEN Benyong,YAN Liping,et al.Design of inner diameter measurement system for large  workpieces based on laser interferometry[J].Journal of Zhejiang Sci-Tech University,2022,47-48(04):774.

备注/Memo

备注/Memo:
 收稿日期: 2010-10-26
基金项目: 国家自然科学基金项目(50827501)
作者简介: 魏若飞(1987-),女,甘肃白银人,硕士研究生,研究方向为精密测量与仪器技术。
更新日期/Last Update: