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[1]赵思维,严利平,杨涛,等.基于DSP的激光外差干涉信号处理方法[J].浙江理工大学学报,2011,28(02):217-220.
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基于DSP的激光外差干涉信号处理方法()
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浙江理工大学学报[ISSN:1673-3851/CN:33-1338/TS]

卷:
第28卷
期数:
2011年02期
页码:
217-220
栏目:
出版日期:
2011-04-30

文章信息/Info

作者:
赵思维;严利平;杨涛;周砚江;陈本永;
浙江理工大学纳米测量技术实验室;
关键词:
纳米测量; 激光外差干涉; 信号处理; DSP; 捕捉单元
文献标志码:
A
摘要:
描述激光外差干涉测量的原理,设计基于DSP的激光外差干涉信号处理方法,用DSP的捕捉单元获取参考信号和测量信号的上升沿时间差,在捕捉单元中断中计算测量信号周期,由DSP将时间差转化为相位差并得出被测位移。采用信号发生器模拟两路输入信号,在0~360°范围内进行相位差测量实验,测量结果表明标准偏差为0.041°、线性拟合相关系数为0.999 89。以20 nm为步长在0~320 nm范围内进行位移测量实验,实验结果表明标准偏差为2.46 nm、线性拟合相关系数为0.999 71,验证了所设计的信号处理方法的

相似文献/References:

[1]陈洪强,谢建东,严利平.基于微分运算的激光外差干涉非线性误差补偿算法[J].浙江理工大学学报,2022,47-48(自科五):783.
　CHEN Hongqiang,XIE Jiandong,YAN Liping.A nonlinear error compensation algorithm for laser heterodyne interference based on differential operation[J].Journal of Zhejiang Sci-Tech University,2022,47-48(02):783.

备注/Memo

备注/Memo:
基金:国家自然科学基金项目(90923026)
更新日期/Last Update: 2011-04-30