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[1]赵文建,袁海骏,袁嫣红.光纤光学相干膜盒压力传感器设计[J].浙江理工大学学报,2015,33-34(自科3):360-364.
　ZHAO Wen jian,YUAN Hai jun,YUAN Yan hong.Design of Optical Coherent Diaphragm Pressure Sensor[J].Journal of Zhejiang Sci-Tech University,2015,33-34(自科3):360-364.
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光纤光学相干膜盒压力传感器设计()
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浙江理工大学学报[ISSN:1673-3851/CN:33-1338/TS]

卷:
第33-34卷
期数:
2015年自科3期
页码:
360-364
栏目:
(自科)电子与信息技术
出版日期:
2015-05-10

文章信息/Info

Title:
Design of Optical Coherent Diaphragm Pressure Sensor
文章编号:
1673-3851 (2015) 03-0360-05
作者:
赵文建;  袁海骏;  袁嫣红
1. 浙江理工大学机械与自动控制学院, 杭州 310018; 2. 上海舜宇海逸光电技术有限公司, 上海 200120
Author(s):
ZHAO Wenjian;  YUAN Haijun;  YUAN Yanhong
1. School of Mechanical Engineering & Automation, Zhejiang Sci-Tech University, Hangzhou 310018, China;2. Shanghai Shunyu Haiyi Photoelectric Technology Co., Ltd., Shanghai 200120, China
关键词:
光纤相干测距;  单模光纤;  波纹膜片;  迟滞;  压力传感器
分类号:
TN2
文献标志码:
A
摘要:
设计了一种新型光纤膜盒压力传感器,应用频率扫描光纤相干测距法感知波纹膜片位移量,从而得到压力测量值。设计的压力传感器应用单模光纤空间滤波特性进行测距,实现了对非光滑金属膜片表面的直接测距;压力膜盒通过退火工艺消除焊接产生的残余应力,改善了迟滞特性。实验结果表明,设计的压力传感器不仅比指针式膜盒压力表拥有更高的精度和灵敏度,同时又拥有光纤传感器远距离测量和抗电磁干扰的特点。对其中一种尺寸的压力传感器进行了标定,给出了压力与距离的特性曲线以及零点温度漂移曲线,其迟滞仅为0.2%,非线性度为0.7%。

参考文献/References:

［1］ 李学金, 张百钢, 姚建铨, 等. 一种光纤压力传感器的设计理论分析［J］. 传感技术学报, 2004(1): 133-135.
［2］ 杨淑连. 一种新型光纤压力传感器的设计［J］. 光子学报, 2007, 36(5): 838-841.
［3］ 佟成国, 马树坤, 林沛, 等. 双膜盒式光纤压力传感器设计［J］. 哈尔滨工程大学学报, 2004, 25(2): 192-195.
［4］ 李成. 光纤法珀压力传感器的研究［D］. 成都: 电子科技大学, 2013: 9-12.
［5］ 于清旭, 贾春艳. 膜片式微型FP腔光纤压力传感器［J］. 光学精密工程, 2009, 17(12): 2887-2892.
［6］ 谭波. 一种高灵敏度光纤光栅压力传感器［J］. 光电子·激光, 2012, 23(11): 2102-2105.
［7］ Cabral A, Rebord o J. Accuracy of frequency sweeping interferometry for absolute distance metrology［J］. Optical Engineering, 2007, 46(7): 073602.
［8］ 吕涛, 刘志刚, 邓忠文, 等. 一种光纤组量程扩增的激光频率扫描干涉绝对测距系统［J］. 西安交通大学学报, 2013, 47(9): 77-82.
［9］ 宋天民. 焊接残余应力的产生与消除［M］. 北京: 中国石化出版社, 2010: 20-53.

备注/Memo

备注/Memo:
收稿日期： 2014-06-23
基金项目： 浙江省重点科技创新团队(2009R50018)
作者简介： 赵文建(1989-),男,浙江杭州人,硕士研究生,主要从事机电控制及其自动化方面的研究
通信作者： 袁嫣红,E-mail:yyh@zstu.edu.cn
更新日期/Last Update: 2015-05-11