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[1]王俊茹,罗剑波,赵新龙,等.曲面激光直写中的光焦点定位控制[J].浙江理工大学学报,2013,30(03):336-339.
 WANG Jun ru,LUO Jian bo,ZHAO Xin long,et al.Optical Focus Positioning Control in Curved Surface Laser Direct writing[J].Journal of Zhejiang Sci-Tech University,2013,30(03):336-339.
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曲面激光直写中的光焦点定位控制()
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浙江理工大学学报[ISSN:1673-3851/CN:33-1338/TS]

卷:
第30卷
期数:
2013年03期
页码:
336-339
栏目:
机电与信息科技
出版日期:
2013-05-10

文章信息/Info

Title:
Optical Focus Positioning Control in Curved Surface Laser Direct writing
文章编号:
1673 3851 (2013) 03 0336 04
作者:
王俊茹 罗剑波 赵新龙 王惠姣
浙江理工大学机械与自动控制学院, 杭州 310018
Author(s):
WANG Jun ru LUO Jian bo ZHAO Xin long WANG Hui jiao
School of Machinery and Automation, Zhejiang Sci-Tech University, Hangzhou, 310018, China
关键词:
曲面激光直写 定位控制 宏/微双驱动系统
分类号:
TH39
文献标志码:
A
摘要:
探讨了曲面激光直写系统中的光焦点定位控制方法。曲面激光直写中光焦点的定位控制要求定位范围毫米级,而定位精度则在亚微米级,因此选用了宏/微双驱动系统。对宏/微双驱动系统进行了动力学建模,并进行了分析。探讨宏/微双驱动系统在直写光刻中的控制方法,对所设计的宏/微双驱动系统进行了实际的测试实验。结果表明:所设计的宏/微双驱动系统在曲面激光直写系统中是可行且有效的

参考文献/References:

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备注/Memo

备注/Memo:
收稿日期: 2013-01-05
基金项目: 国家自然科学基金资助项目(61273184);浙江省自然科学基金资助项目(Y1080690);浙江省公益技术研究项目(2012C21012)
作者简介: 王俊茹(1974-),女,河北沧州人,硕士,讲师,主要从事精密检测技术的研究。
更新日期/Last Update: