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[1]王俊茹,罗剑波,赵新龙,等.曲面激光直写中的光焦点定位控制[J].浙江理工大学学报,2013,30(03):336-339.
 WANG Jun ru,LUO Jian bo,ZHAO Xin long,et al.Optical Focus Positioning Control in Curved Surface Laser Direct writing[J].Journal of Zhejiang Sci-Tech University,2013,30(03):336-339.
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曲面激光直写中的光焦点定位控制()
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浙江理工大学学报[ISSN:1673-3851/CN:33-1338/TS]

卷:
第30卷
期数:
2013年03期
页码:
336-339
栏目:
出版日期:
2013-05-10

文章信息/Info

Title:
Optical Focus Positioning Control in Curved Surface Laser Direct writing
文章编号:
1673 3851 (2013) 03 0336 04
作者:
王俊茹 罗剑波 赵新龙 王惠姣
浙江理工大学机械与自动控制学院, 杭州 310018
Author(s):
WANG Jun ru LUO Jian bo ZHAO Xin long WANG Hui jiao
School of Machinery and Automation, Zhejiang Sci-Tech University, Hangzhou, 310018, China
关键词:
曲面激光直写 定位控制 宏/微双驱动系统
分类号:
TH39
文献标志码:
A
摘要:
探讨了曲面激光直写系统中的光焦点定位控制方法。曲面激光直写中光焦点的定位控制要求定位范围毫米级,而定位精度则在亚微米级,因此选用了宏/微双驱动系统。对宏/微双驱动系统进行了动力学建模,并进行了分析。探讨宏/微双驱动系统在直写光刻中的控制方法,对所设计的宏/微双驱动系统进行了实际的测试实验。结果表明:所设计的宏/微双驱动系统在曲面激光直写系统中是可行且有效的

参考文献/References:

[1]Levinson H J. Principles of Lithography[M]. Washington: SPIE, 2005: 7-10.
[2] Radtke D, Zeitner U D. Laserlithography on non planar surfaces[J]. Optics Express, 2007, 15(3): 1167-1174.
[3] Xie Yongjun, Lu Zhenwu, Li Fengyou. Lithographic fabrication of large curved hologram by laser writer[J]. Optics Express, 2004, 12(9): 1810-1814.
[4] Mack C A. Understanding focus effects in submicrometer optical lithography: a review[J]. Optical Engineering, 1993, 32(10): 2350-2362.
[5] 卓立汉光. 超薄型电控平移台: TSAxC系列[EB/OL].[2008 01 01], http: //www. zolix. com. cn /templates /channel/index_81_80. html.
[6] Physik  Instrumente. P721 PIFOC high speed piezo nanofocussing device with direct metrology feedback[EB/OL].[2008 03 01], http://www.pi.ws.
[7] 徐从裕. 大行程纳米定位驱动控制方法与系统研究[D]. 合肥: 合肥工业大学, 2008: 1-7.
[8] Liu Hongzhong, Lu Bingheng, Ding Yucheng, et al. A motor piezo actuator for nano scale positioning based on dual servo loop and nonlinearity compensation[J]. J Micromech. Microeng, 2003, 13(2): 295-299.
[9] Rhee H G, Kim D K, Lee Y W. Realization and performance evalua tion of high speed autofocusing for direct laser lithography[J]. Review of Scientific Instruments, 2009, 80: 073103-1.

备注/Memo

备注/Memo:
收稿日期: 2013-01-05
基金项目: 国家自然科学基金资助项目(61273184);浙江省自然科学基金资助项目(Y1080690);浙江省公益技术研究项目(2012C21012)
作者简介: 王俊茹(1974-),女,河北沧州人,硕士,讲师,主要从事精密检测技术的研究。
更新日期/Last Update: