|本期目录/Table of Contents|

[1]张华叶,张恩政,严利平,等. 渥拉斯顿棱镜偏摆对激光外差干涉直线度测量的影响分析[J].浙江理工大学学报,2012,29(05):672-676.
　ZHANG Hua ye,ZHANG En zheng,YAN Li ping,et al. Analysis of Laser Heterodyne Interferometric Straightness MeasurementErrors Induced by Wollaston Mirror Tilting[J].Journal of Zhejiang Sci-Tech University,2012,29(05):672-676.
点击复制

 渥拉斯顿棱镜偏摆对激光外差干涉直线度测量的影响分析()
分享到：

浙江理工大学学报[ISSN:1673-3851/CN:33-1338/TS]

卷:
第29卷
期数:
2012年05期
页码:
672-676
栏目:
出版日期:
2012-10-28

文章信息/Info

Title:
 Analysis of Laser Heterodyne Interferometric Straightness MeasurementErrors Induced by Wollaston Mirror Tilting
文章编号:
16733851 (2012) 05067205
作者:
 张华叶;  张恩政;  严利平;  陈本永
 浙江理工大学纳米测量技术实验室, 杭州 310018
Author(s):
 ZHANG Huaye;  ZHANG Enzheng;  YAN Liping;  CHEN Benyong
 Nanometer Measurement Laboratory, Zhejiang SciTech University, Hangzhou 310018, China
关键词:
 ; 激光外差干涉仪;  渥拉斯顿棱镜;  直线度;  倾角;  摆角
分类号:
TH741
文献标志码:
A
摘要:
    描述激光外差干涉直线度及其位置测量方法；分析由渥拉斯顿棱镜偏摆角引起的测量误差，建立激光外差干涉直线度及其位置测量误差的数学模型，并进行仿真分析研究。结果表明：渥拉斯顿棱镜倾角和摆角引入的测量误差为正弦型误差分量，当渥拉斯顿棱镜偏摆角为1°时，直线度的测量误差有约为100 nm，位置误差约为1 nm；当渥拉斯顿棱镜的倾角为15″时，直线度测量误差约为700 nm，位置误差约为15 nm。

参考文献/References:

 ［1］ 张善钟, 赵辉. 国内外高精度直线度测量技术现状［J］. 现代计量测试, 1994(3): 15.
［2］ 宁延平, 刘站锋. 国内外高精度直线度测量技术的研究现状［J］. 仪器仪表与检测, 2005 (6): 8284.
［3］ Dai G L, Yin C Y, Xie G P. Study on drift of nonlinearity in nanometer precision heterodyne interferometers［J］. Acta Optica Sinica,1998,18(12): 16971702.
［4］ Dai G L, Chao Z X. Determining the residual nonlinear of a dualfrequency interferometer for nanometrology［J］. Chinese J Lasers, 1999, 26(11): 987992.
［5］ 张善錘, 于瀛洁, 张之江. 直线度平面度测量技术［M］. 北京: 中国计量出版社, 1997: 15, 112139.
［6］ 马科斯·玻恩, 埃米尔·沃耳夫. 光学原理［M］. 北京: 电子工业出版社, 2009: 3038.
［7］ 赵凯华, 钟锡华. 光学: 上册［M］. 北京: 北京大学出版社, 1982: 245263.
［8］ Jolyon M. De F. Analysis of laser source birefringenceand dichroism on nonlinearity in heterodyne interferometry［J］. Meas Sci Technol. 1997(8): 13561359.
［9］ Fan K C, Yang Z. A lazer straightness measurement system using optical fiber and modulation techniques［J］. International Journal of Machine Tools & Manufacture, 2000, 40: 20732081.
［10］ 李庆祥, 王东生, 李玉和. 现代精密仪器设计［M］. 北京: 清华大学出版社, 2004: 319324.
［11］ Feng Q B, Zhang B, Kuang C F. A straigntness measurement system using a singlemode fibercoupled laser module［J］. Optics & Laser Tecnology, 2004(36): 279283.
［12］ 陈洪芳, 丁雪梅, 钟志. 偏振分光镜分光性能非理想对激光外差干涉非线性误差的影响［J］. 中国激光, 2006, 33(11): 15621566.
［13］ Cosijns S J A G., Haitjema H, Schellekens P H J. Modeling and verifying nonlinearities in heterodyne displacement interferometry［J］. Precision Engineering, 2002, 26(4): 448455.
［14］ 张恩政. 基于双频干涉的直线度及其位置测量方法研究［D］. 杭州: 浙江理工大学, 2011.
［15］ 金国藩, 历经镇. 激光测量学［M］. 北京: 科学出版社, 1998: 284290.

相似文献/References:

[1]陈智杰a,赵晓丽a,徐畅b,等. 有机颜料微胶囊在涂料染色中的应用及其染色效果分析[J].浙江理工大学学报,2013,30(01):1.
　CHEN Zhi jiea,ZHAO Xiao lia,XU Changb,et al. Application of Organic Pigment Microcapsule in Pigment Dyeingand Its Dyeing Results[J].Journal of Zhejiang Sci-Tech University,2013,30(05):1.
[2]詹永娟,谢维斌,姜晓云,等. 织物液态水传递性能的自动检测技术及应用[J].浙江理工大学学报,2013,30(01):6.
　ZHAN Yong juan,XIE Wei bin,JIANG Xiao yun,et al. Technology and Application of the Automatic Detection inTesting Liquid Transport Properties of Textiles[J].Journal of Zhejiang Sci-Tech University,2013,30(05):6.
[3]孙麒. 基于极大似然估计的织物图像分割[J].浙江理工大学学报,2013,30(01):12.
　SUN Qi. Textile Image Segmentation Based on theMaximum Likelihood Algorithm[J].Journal of Zhejiang Sci-Tech University,2013,30(05):12.
[4]巫静a,田彦杰b,汪澜a,等. 基于SVM理论的涤纶织物分散染料上染率模型研究[J].浙江理工大学学报,2013,30(01):21.
　WU Jinga,TIAN Yan jieb,WANG Lana,et al. Research on Modeling of DyeUptake Rate for Disperse Dyes onPolyester Fibers Based on SVM[J].Journal of Zhejiang Sci-Tech University,2013,30(05):21.
[5]周昊,徐英莲,齐素梅.微孔结构改性涤纶/棉混纺针织物服用性能的研究[J].浙江理工大学学报,2013,30(01):21.
　ZHAO Hao,XU Ying lian,QI Su mei. Research on Using Knitted Blend Fabric of Modified Polyesterby Cellular Structure and Cotton for Wearing[J].Journal of Zhejiang Sci-Tech University,2013,30(05):21.
[6]孙佳英,李艳清,章斐燕,等. 纺织结构复合材料铺层顺序设计与力学性能分析[J].浙江理工大学学报,2013,30(01):27.
　SUN Jia ying,LI Yan qing,ZHANG Fei yan,et al. Study on Layer Sequence Design and Mechanical Propertiesof Textile Structure Composites[J].Journal of Zhejiang Sci-Tech University,2013,30(05):27.
[7]丁源维,王騊,姚菊明,等. 静电纺制备TiO2/PVA复合纳米纤维及其光催化性能研究[J].浙江理工大学学报,2013,30(01):31.
　DING Yuan wei,WANG Tao,YAO Ju ming,et al. Photocatalytic Performance Investigation of TiO2/PVANanofibers Prepared by Electrospinning[J].Journal of Zhejiang Sci-Tech University,2013,30(05):31.
[8]章梦洁,伍仲,方园. 涤棉混纺织物阻燃性能的实验分析[J].浙江理工大学学报,2013,30(01):36.
　ZHANG Meng jie,WU Zhong,FANG Yang. Experimental Study on the PolyesterCotton BlendedFabrics Flame Retardancy[J].Journal of Zhejiang Sci-Tech University,2013,30(05):36.
[9]胡觉亮a,孔云鹏b,韩曙光a,等. 基于随机需求的服装供应链回购契约研究[J].浙江理工大学学报,2013,30(01):40.
　HU Jue lianga,KONG Yun pengb,HAN Shu guanga,et al. Study on Repurchase Contract in a Fashion Chainwith the Stochastic Demand[J].Journal of Zhejiang Sci-Tech University,2013,30(05):40.
[10]毛雯,阎玉秀. 针织服装供应商评价指标体系构建与权重确定[J].浙江理工大学学报,2013,30(01):46.
　MAO Wen,YAN Yu xiu. Building Evaluation Index System for Knitting Clothing Suppliersand Determining the Weight[J].Journal of Zhejiang Sci-Tech University,2013,30(05):46.

备注/Memo

备注/Memo:
 收稿日期： 2012-02-28
基金项目： 国家自然科学基金项目(90923026)
作者简介： 张华叶(1985-)，男，江苏丹阳人，硕士研究生，主要从事激光干涉测量技术的研究。
更新日期/Last Update: